2026年04月20日，人工智能微纳传感山西省重点实验室每周学术报告在原信计南楼411室举行。
本次学术报告的汇报人为杨佑鹏博士，报告主题为基于ALD的高性能气体传感器研究。杨博士首先介绍了ALD的工作原理及典型循环-吹扫过程，并阐明了其在精确调控薄膜生长和构筑复杂微纳结构方面的独特优势。随后，系统分析了提升气体传感性能的主要策略，指出贵金属修饰、异质结构建以及微纳结构设计能够通过增强材料表面活性、优化界面电荷传输和增大气体吸附与反应界面，有效提升传感器的灵敏度、选择性与长期稳定性等。最后，杨博士汇报了当前气敏薄膜沉积、EBL图形化及EBL结合ALD方面的实验进展，并对后续研究计划进行了展望。报告结束后，与会老师和同学围绕相关内容展开了热烈讨论。